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优威芯开发技术! 突破了玻璃刻蚀的瓶颈!

发表时间:2023-02-24


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优威芯开发技术! 突破了玻璃刻蚀的瓶颈! 在玻璃上刻蚀,玻璃厚度2mm,形成了倒金字塔结构,成本远低于深硅刻蚀!


(一)玻璃刻蚀黑科技

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玻璃刻蚀黑科技,突破了玻璃材质刻蚀的瓶颈,采用独特的湿法刻蚀工艺,在2毫米厚的5寸玻璃晶圆中刻蚀出均匀倒梯形结构,倒梯形内壁光滑,搭配金属镀层工艺,适合各种波段的光学反光,成本远低于硅晶圆湿法刻蚀!!


(二)什么叫湿法刻蚀工艺?

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湿法刻蚀是一种刻蚀方法,是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。

主要在较为平整的膜面上刻出绒面,从而增加光程,减少光的反射,刻蚀可用稀释的盐酸等。

简单来说,就是中学化学课中化学溶液腐蚀的概念,它是一种纯化学刻蚀,具有优良的选择性,刻蚀完当前薄膜就会停止,而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。由于所有的半导体湿法刻蚀都具有各向同性,所以无论是氧化层还是金属层的刻蚀,横向刻蚀的宽度都接近于垂直刻蚀的深度。这样一来,上层光刻胶的图案与下层材料上被刻蚀出的图案就会存在一定的偏差,也就无法高质量地完成图形转移和复制的工作,因此随着特征尺寸的减小,在图形转移过程中基本不再使用。

目前,湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节,而在图形转移中干法刻蚀已占据主导地位。

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(三)总结

总而言之,对比硅晶圆湿法刻蚀工艺,优威芯采用的独特湿法刻蚀工艺突破了玻璃材质刻蚀的瓶颈,在2毫米厚的5寸玻璃晶圆中刻蚀出均匀倒梯形结构,倒梯形内壁光滑,搭配金属镀层工艺,适合各种波段的光学反光!而且成本远低于前者。。。。堪称玻璃刻蚀黑科技!!

(四)合作或兴趣交流

联系人:邱幸(博士


电话(同微信):18033086851



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